书目详细信息
： 基于MEMS技术的热梯度器件研究
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5170-7299-7:CNY59.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 基于MEMS技术的热梯度器件研究/.聂金泉著 |
| 出版发行项： | 北京:,中国水利水电出版社:,2019.04 |
| 载体形态项： | 192页:;+图:;+24cm |
| 相关题名附注： | 封面英文题名：Research on thermal gradient devices based on MEMS technology |
| 提要文摘： | 本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统，设计了一种新型的梯度加热器，由六个微加热芯片组成，每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元，采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响，为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。 |
| 并列题名： | Research on thermal gradient devices based on MEMS technology eng |
| 题名主题： | 微电机 工艺过程设计 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 聂金泉 著 |